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薄膜形成装置
1.) ベルジャー型蒸着装置
2.) DCマグネトロンスパッタリング装置
3.) 対向ターゲット式マグネトロンスパッタリング装置
4.) 高周波マグネトロンスパッタリング装置
5.) イオンビームスパッタリング装置
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