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ナノ構造薄膜
現在、（AlN/FCC金属）からなる多層膜を利用し
・AlNの極性の制御
・金属層の内部応力の制御
・界面の平滑性の向上
の研究を行っています。
これらは弾性波デバイスや、磁性薄膜、X線反射膜への応用が期待されています。
図 N極性に制御されたC軸配向のAlN模式図と、その多層膜の透過電子顕微鏡像。金属Pt上ではN極性になり、Al上ではAl極性になることが発見された。
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